Độ chính xác chồng lớp ≤15 nanomet! Shanghai Microelectronics thắng thầu dự án máy khắc quang học của Bộ Khoa học và Công nghệ TQ

[Màu của em]

Ngày 25/12, Mạng lưới Mua sắm Chính phủ Trung Quốc thông báo rằng Công ty TNHH Thiết bị Vi điện tử Thượng Hải (sau đây gọi là "Shanghai Microelectronics, SMEE") đã trúng thầu dự án mua sắm zycgr22011903 máy khắc quang học quét bước , với số lượng một máy và giá trị giao dịch là 110 triệu nhân dân tệ (khoảng 412 tỷ đồng). Công nghệ in thạch bản quét từng bước là một công nghệ in thạch bản lai kết hợp những ưu điểm của in thạch bản chiếu quét và in thạch bản lặp lại từng bước. Công...

Đọc bài gốc tại đây